離子氮化作為七十年代興起的一種新型滲氮方法與一般的氣體滲氮相比，離子滲氮的特點是：
1）滲氮速度較快，可適當(dāng)縮短滲氮周期，離子氮化時間短，能縮短到氣體氮化時間的1/3～2/3。
2）滲氮層脆性小，離子氮化表面形成的白層很薄，甚至沒有，另外引起的變形小，特別適宜于形狀復(fù)雜的精密零件。
3）可節(jié)約能源和氨的消耗量，電能消耗為氣體氮化的1/2～1/5，氨氣消耗為氣體氮化的1/5～1/20。4）易于實現(xiàn)局部氮化，只要設(shè)法使不欲氮化的部分不產(chǎn)生輝光即可，非滲氮部位便于保護(hù)，采用機(jī)械屏蔽、用鐵板隔斷輝光，即可保護(hù)。
5）離子轟擊有凈化表面作用，自動去除鈍化膜，不銹鋼、耐熱鋼材料無需預(yù)先去除鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。
6）化合物層結(jié)構(gòu)、滲層厚度和組織可以控制。
7）處理溫度范圍較寬，即使在350℃以下也能獲得一定厚度的滲氮層。
8)勞動條件有所改善，無公害、離子滲氮處理在很低的壓力下進(jìn)行，排出的廢氣極少。氣源為氮氣、氫氣和氨氣，基本上無有害物質(zhì)產(chǎn)生。
9）可以適用于各種材料，包括要求氮化溫度高的不銹鋼、耐熱鋼，以及氮化溫度較低的工模具(工具鋼)和精密零件，而低溫氮化對氣體氮化來說是相當(dāng)困難的。