離子氮化需要較高精度的設(shè)備，主要包括離子源、真空系統(tǒng)、加速器和控制系統(tǒng)等。其中離子源和加速器是離子氮化設(shè)備的核心部件，其質(zhì)量和穩(wěn)定性決定了氮化層的均勻性和質(zhì)量。為保證氮化質(zhì)量，設(shè)備還需要有良好的真空系統(tǒng)，避免氧化反應(yīng)發(fā)生。